第388章 寻求替代方案(2 / 2)

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让谁用得你同意。

“这……”

夏教授有些犹豫,专利共享不是小事,虽然对方说可以提供新设备和高纯度靶材,但是一张嘴就要专利共享,多少有点儿贪心了吧……

胡中玥看出来他心中所想,解释道:“可能您觉得我有些贪心,但据我所知,最新款的钌pvd沉积设备是禁运我国的,最有可能实现的方案是以‘光学镀膜机’的名义,从小日子那边进口pvd设备,再私自改装钌靶,这个成本是直接购买设备的三倍。

钌靶材也得从小日子进口,一公斤就要近万美元。

和我们所付出的相比,共享专利,真的不过分~”

夏教授被她的言论惊到了,她说的可都是最先进的设备和靶材啊!

现在科研院微电子所的设备是从第三方国家中转购入的,还是二手货,是star淘汰下来的,高价买通了小日子退休工程师团队秘密改装的,成本直接翻了两番,成功率却打了对折。

设备不给力,所以他们只能降低均匀性要求,避开全局光刻难题,仅将钌衬垫用于局部互联,而且成功率仅有15。

这么一想,好像人家的要求确实也能接受啊~

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